高性能光學(xué)元件 / 光學(xué)系統(tǒng)是多種多樣的。PHASICS 提供基于 SID4 波前傳感器、R-Cube 光源及雙路分光模塊、成像模塊等構(gòu)建的組合測(cè)試方案，方便用戶根據(jù)待測(cè)物的特性（如口徑、焦距等）訂制光學(xué)計(jì)量系統(tǒng)。

1）R-Cube

R-Cube 是一個(gè)雙通路光源模塊，具備激光入口、準(zhǔn)直光出瞳、位相傳感其適配口，內(nèi)置高品質(zhì)分光鏡及準(zhǔn)直器?？筛鶕?jù)要求選擇光源波長(zhǎng)，高品質(zhì)準(zhǔn)直光源通過出瞳后可用于待測(cè)元件照明。經(jīng)出口返回 R-Cube內(nèi)部的光由 SID-4 位相傳感器測(cè)量。出瞳光束可配置物鏡構(gòu)成點(diǎn)光源 / 球面光束，或擴(kuò)束器以實(shí)現(xiàn)大口徑光斑。

• 兼容 SID4/ HR/ UV/ SWIR/ SWIR-HR /DWIR 等傳感器

• 有效光束口徑：與傳感器匹配

• 可選光源：365~3900nm 多種波長(zhǎng)

• 校準(zhǔn)鏡光學(xué)質(zhì)量：λ/20 @ 632.8nm

• 位相分辨率：<2nm rms

測(cè)試光路典型光學(xué)元件計(jì)量的光路可以 R-Cube 和 SID4 為核心靈活搭建：