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XITON Impress系列深紫外激光器是高重頻二管泵浦調(diào)Q固體激光器。其優(yōu)異的TEM00光束模式非常適合用于計(jì)量學(xué)和微細(xì)加工（如半導(dǎo)體或顯示器修復(fù)等），其短的波長(zhǎng)適合于直接刻寫應(yīng)用。系統(tǒng)通過(guò)RS-232接口*由電腦控制運(yùn)行，可接受不同的觸發(fā)控制模式。
XITON Impress系列深紫外激光器典型參數(shù)
型 號(hào) | IMPRESS 213 | IMPRESS 224 |
波 長(zhǎng) | 213 nm | 224 nm |
平均功率 | 150 mW | 300 mW |
脈 寬 | < 7 ns | < 9 ns |
脈沖能量 | >15 µJ | >30 µJ |
重復(fù)頻率 | 0.1-30 kHz | 0.1-30 kHz |
M2 因子 | < 1.6 | < 1.6 |
特點(diǎn)
· 短紫外波長(zhǎng)
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優(yōu)異的光束形貌
· 超低運(yùn)行與維護(hù)成本
· “綠色光電”
· 24/7連續(xù)工業(yè)使用
應(yīng)用
· 光纖布拉格光柵刻寫
· 波長(zhǎng)敏感加工
· 立體光刻
· 顯示器修復(fù)
· 微細(xì)加工
· 半導(dǎo)體檢測(cè)
· 倍頻氬離子激光器替換
· 光致發(fā)光測(cè)量
優(yōu)異的FBG刻寫性能
· 超快刻寫速度，僅需數(shù)分鐘
· 光纖無(wú)需預(yù)載氫
· 高重頻刻寫光纖光柵質(zhì)量更高
· 超低運(yùn)行與維護(hù)成本，體積小
參考文獻(xiàn)
