所謂
準分子激光器,是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光。之所以產(chǎn)生稱為準分子,是因為它不是穩(wěn)定的分子,是在激光混合氣體受到外來能量的激發(fā)所引起的一系列物理及化學反應中曾經(jīng)形成但轉瞬即逝的分子,其壽命僅為幾十毫微秒。
準分子激光器是一種氣體脈沖激光,所產(chǎn)生的是波長為的準分子激光,它是一種超紫外線光波,此波長的激光吸收范圍窄,激光的能量幾乎*被角膜上皮細胞和基質吸收,超過這個范圍的組織不會吸收到激光,每一個激光脈沖可以切削0.2到0.25um厚度的生物組織,所以周圍的組織不會損傷。
準分子激光與生物組織作用時發(fā)生的不是熱效應,而是光化反應,所謂光化反應,是指組織受到遠紫外光激光作用時,會斷裂分子之間的結合鍵,將組織直接分離成揮發(fā)性的碎片而消散無蹤,對周圍組織則沒有影響,達到對角膜的重塑目的,能消融人眼角膜預計去除的部分空間度達細胞水平,不損傷周圍組織。它的波長短,不會穿透人的眼角膜,因此對于眼球內部的組織沒有任何不良的作用。
人們在操作使用
準分子激光器的過程中,發(fā)現(xiàn)了
準分子激光器有著非常多的特性,正是由于這些特性,準分子激光器在人們生活中的用途廣泛而重要,下面中國傳感器交易網(wǎng)的來給大家介紹一下準分子激光器的特性及用途。
準分子激光器的*的的性能使得它能夠很好的應用在新興的技術中。主要應用在兩個方面:材料切除;光學材料的加工。
準分子激光器的切除的本質是光燒蝕,它幾乎沒有熱影響區(qū)域,而且使用準分子激光器時,切口干凈而且輪廓分明,這些特點使得
準分子激光器能夠十分適合的進行亞微米范圍的微加工。此外,短波長的紫外準分子輻射很容易被許多材料所吸收,使得它不論是對硬質材料還是軟質聚合物都能進行有效加工。
準分子激光器波長的范圍較廣,這意味著,基本上對于任何需要加工的材料需要加工的材料都能夠找到合適的波長。大型的多模平頂準分子光束讓大面積圖案制作所需要的光束整形和掩膜技術成為可能,使得加工效率更高,而且能得到復雜的三維圖案。
準分子激光器的用途主要有三個方面:眼科手術、平板顯示器退火和半導體微光刻。不過準分子市場的其他部分也是很重要的,包括了許多不同的加工和行業(yè),從對眼鏡打標到加工柴油機汽缸套,到電子工業(yè)中的打孔都是用了該技術。
大部分的
準分子激光器的主要特點是:合適的重復頻率處、激光脈沖能量很高;或者是高重復頻率而能量較低。但是平板顯示器制造中低溫多晶硅退火技術的成熟推進了高重復頻率、高脈沖能量激光器的發(fā)展,目前也應用在微加工中。
目前節(jié)約成本的“迷你”
準分子激光器的開發(fā)不斷進步,這些激光器運用起來十分劃算,電的使用壽命變長,整體效率高,補充氣體的間隔時間長。此外,這些激光器使用的氣體量更小,并且可以使用小直徑的光束傳輸裝置。